测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量；采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。




主要使用与电子工业、五金行业、以及一些精密工程，在塑胶行业和医疗业，生物物医学、公安系统等等有广泛的应用，特别是在电子工业比如观察电路板的构造，观察零件直接的精确距离，是不可缺少的精密仪器。