在全自动影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数（计数），最终计算处理。读数来自于标尺即光栅体系，对焦对准依托显微镜光学体系，还有一个直接影响测量作用和精度的照明光源，根据全自动影像测量仪办法测量的仪器，假如被测件不能被有用正确的照明，则测量的结果明显要偏离其实在尺度。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不行忽略的因素。根据上述剖析，能够概括出以下几个方面的差错来历：

 

全自动影像测量仪的误差

 

    （1）光栅计数尺的差错；

    （2）作业台移动时存在的直线度、角摆带来的差错；

    （3）作业台两测量轴笔直度带来的差错；

    （4）显微镜光轴与作业台面不笔直带来的差错；

    （5）测量室温度偏离20℃参阅温度带来的差错；

    （6）光源照明条件的改变带来的对焦和对准差错。