项目参数型号TSE320-S测量范围范围280*170mm ；240*150mm（9图拼接）单视野82*55mm移动行程(X/Y/Z)200mm * 120mm * 75mm测量精度有拼接±(4.5+L/150)μm无拼接±3μm*标准件为被测产品光学镜头双远心光学镜头图像传感器2000万像素软件基于机器学习的图像轮廓匹配算法亚像素精度几何测量算法非线性